反射高能電子衍射儀 RHEED可以*由計算機來控制.電子槍控制部分包括一個界面模塊和一個軟件包，這保證了RHEED的使用靈活性，和可重復性.用戶自己設定的參數可以被保存并調入，通過電子束光闌可以控制電子束的開關，使用電子束搖擺特征可以調節電子束入射角度.